涡轮分子泵的结构和工作原理

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  分子泵利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵涡轮分子泵那个棋牌信誉好的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。

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涡轮分子泵的动、静叶片图

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立式涡轮分子泵的结构图

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动叶片的工作示意图

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  泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外,还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108~109;对氢为102~104;对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限真空度为10-9帕,工作压力范围为10-1~10-8帕,抽气速率为几十到几千升每秒(1升=10-3米)。涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性,因此要求配有工作压力为1~10-2帕的前级真空泵那个棋牌信誉好。分子泵本身由转速为10000~60000转/分的中频电动机直联驱动。

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  J . F . O'Hanlou,AUser's Guide to Vacuum Technology, John Wiley & Sons,New York,1980.

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  各种真空泵的工作原理